Làm sạch bằng Laser

Vai trò quan trọng của công nghệ làm sạch trong sản xuất chất bán dẫn

Vai trò quan trọng của công nghệ làm sạch trong sản xuất chất bán dẫn | Laserchina

Khi công nghệ bán dẫn toàn cầu tiếp tục phát triển, nhu cầu về quy trình sản xuất tiên tiến chưa bao giờ cao hơn. Đặc biệt, việc nhấn mạnh vào chất lượng bề mặt wafer ngày càng trở nên nghiêm ngặt. Các tạp chất như bụi, chất hữu cơ và vô cơ cũng như các ion kim loại do không khí mang theo, sự tiếp xúc của con người, cơ sở vật chất, thiết bị sản xuất, thuốc thử hóa học và vật liệu phụ trợ có thể ảnh hưởng đáng kể đến năng suất, hiệu suất điện và độ tin cậy của chip bán dẫn. Giống như con người tắm thường xuyên để ngăn ngừa nhiễm trùng do vi khuẩn có hại, các tấm bán dẫn có kích thước nanomet đòi hỏi phải làm sạch tỉ mỉ để tạo ra những con chip hoàn hảo. Bài đăng này đi sâu vào các quy trình làm sạch quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, nêu bật các xu hướng mới nổi và sự thay đổi then chốt đối với thiết bị làm sạch gia dụng do các công ty đổi mới dẫn đầu như LASER TRUNG QUỐC.

Tìm hiểu về cách làm sạch wafer bán dẫn

Làm sạch tấm bán dẫn là một quá trình quan trọng nhằm loại bỏ tạp chất khỏi bề mặt chip thông qua xử lý hóa học, khí hoặc phương pháp vật lý. Được thực hiện giữa các giai đoạn sản xuất khác nhau, quá trình làm sạch giúp loại bỏ ô nhiễm hạt siêu mịn, cặn kim loại, thức ăn thừa hữu cơ, v.v., chuẩn bị tấm bán dẫn cho các quy trình tiếp theo. Với việc thu nhỏ các kích thước đặc điểm, chất bán dẫn ngày càng trở nên nhạy cảm hơn với sự nhiễm bẩn. Các hạt, mảnh kim loại, chất hữu cơ, oxit hình thành tự nhiên và vết tạp chất trên bề mặt chip có thể dẫn đến lỗi mẫu và suy giảm hiệu suất điện. Quy trình làm sạch, thường được lặp lại nhiều hơn bất kỳ quy trình nào khác trong quá trình sản xuất, chiếm hơn 30% tổng số bước sản xuất, nhấn mạnh tầm quan trọng của quy trình này.

Công nghệ giặt ướt & giặt khô

Công nghệ làm sạch chất bán dẫn chủ yếu được phân loại thành giặt ướt và giặt khô dựa trên phương tiện làm sạch được sử dụng. Làm sạch ướt, bao gồm các dung dịch hóa học cụ thể và nước khử ion, là phương pháp chủ yếu, được sử dụng để loại bỏ các hạt, oxit, kim loại và các chất gây ô nhiễm khác mà không gây hư hại. Nó cũng có thể kết hợp các kỹ thuật sóng siêu âm, sưởi ấm và chân không để nâng cao hiệu quả. Mặt khác, các kỹ thuật giặt khô, bao gồm làm sạch bằng plasma, làm sạch bằng chất lỏng siêu tới hạn và làm sạch bằng chùm tia, mang lại khả năng chọn lọc cao cho các màng mỏng khác nhau nhưng bị hạn chế về phạm vi chất gây ô nhiễm mà chúng có thể xử lý. Đáng chú ý, làm sạch bằng laser máy móc, đại diện cho công nghệ giặt khô tiên tiến, ngày càng được công nhận về độ chính xác và lợi ích môi trường. Ngành sản xuất chất bán dẫn chủ yếu dựa vào phương pháp làm sạch ướt, với một số bước nhất định sử dụng sự kết hợp giữa phương pháp ướt và khô để tối ưu hóa kết quả làm sạch.

Làm sạch hàng loạt so với làm sạch wafer đơn

Bối cảnh thiết bị làm sạch bao gồm máy làm sạch tấm wafer đơn và hệ thống làm sạch hàng loạt, mỗi loại đều có những ưu điểm riêng. Làm sạch hàng loạt sẽ ngâm các tấm bán dẫn trong dung dịch hóa học hoặc nước siêu tinh khiết, xử lý đồng thời nhiều tấm bán dẫn để có công suất cao. Tuy nhiên, phương pháp này có nguy cơ lây nhiễm chéo cao hơn. Ngược lại, việc làm sạch tấm bán dẫn đơn nhắm vào các tấm bán dẫn riêng lẻ bằng tia chất lỏng hoặc khí, giảm thiểu hư hỏng vật liệu và nhiễm bẩn chéo đồng thời nâng cao độ tin cậy của tấm bán dẫn. Mặc dù việc làm sạch wafer đơn mang lại kết quả chất lượng cao hơn, nhưng thông lượng thấp hơn và chi phí cao hơn là những hạn chế đáng chú ý. Khi các quy trình bán dẫn tiến triển, sự thay đổi theo hướng làm sạch tấm bán dẫn đơn lẻ trở nên rõ ràng hơn do khả năng kiểm soát ô nhiễm vượt trội của nó.

Sự thay đổi hướng tới làm sạch thân thiện với môi trường và tiến bộ trong nước

Trong bối cảnh các quy định về môi trường ngày càng tăng và mục tiêu carbon kép, ngành công nghiệp bán dẫn đang hướng tới các giải pháp làm sạch bền vững hơn. Những cải tiến như máy làm sạch bằng laze, làm sạch bằng đá khô và loại bỏ bằng plasma mang lại khả năng loại bỏ chất gây ô nhiễm hiệu quả mà không thải ra hóa chất độc hại, phù hợp với thực tiễn sản xuất thân thiện với môi trường. Hơn nữa, việc thúc đẩy sản xuất thiết bị làm sạch chất bán dẫn trong nước đang có đà tăng trưởng. Các công ty như đang đi đầu trong việc phát triển các giải pháp làm sạch mạnh mẽ được sản xuất trong nước nhằm đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng của ngành đồng thời giảm sự phụ thuộc vào các nhà cung cấp quốc tế.

Kết luận

Quy trình sản xuất chất bán dẫn phụ thuộc rất nhiều vào các công nghệ làm sạch phức tạp để đảm bảo năng suất cao và hiệu suất chip đáng tin cậy. Khi ngành công nghiệp phát triển, nhu cầu về các giải pháp làm sạch tiên tiến, thân thiện với môi trường, chẳng hạn như máy làm sạch bằng laser, tiếp tục tăng lên. Với các công ty trong nước đang dẫn đầu, tương lai của thiết bị làm sạch bằng laser bán dẫn có vẻ đầy hứa hẹn, kết hợp giữa sự đổi mới, tính bền vững và tiến bộ trong nước để đáp ứng các tiêu chuẩn khắt khe của ngành.

LIÊN HỆ GIẢI PHÁP LASER

Với hơn hai thập kỷ chuyên môn về laser và dòng sản phẩm toàn diện bao gồm các bộ phận riêng lẻ cho đến máy hoàn chỉnh, chúng tôi là đối tác cuối cùng để giải quyết tất cả các yêu cầu liên quan đến laser của bạn.

bài viết liên quan

Bình luận

Chúng tôi sẽ không công khai email của bạn. Các ô đánh dấu * là bắt buộc *